質譜分析方法是利用質譜儀測定各種元素的同位素質量和相對豐度的方法。質譜儀由離子源、分析器和收集器三部分組成。樣品先在氣體放電管內被加熱形成離子，之后樣品離子通過幾道狹縫進行速度篩選。通過最后一道狹縫的離子均具有恒定的速度。具有恒定速度的離子進入分析器后受到外加磁場的作用，它們將作圓周運動。

正文

由于各種同位素離子的質量不同，它們將循著不同的路徑到達收集器。用照相底板拍攝下這些軌跡，分析底板上各種同位素離子的位置和強度，可求得它們的質量和相對豐度。質譜儀方法現(xiàn)已是一種得到廣泛應用的化學分析方法，它可用于痕量元素分析。它也可進行同位素分離以制備純的同位素樣品。