基本信息

現(xiàn)象簡介

薄膜的沉積生長就是通過固態(tài)生長表面與被其吸附的氣相產(chǎn)物之間的異相反應(yīng)來進(jìn)行的。

薄膜的沉積方法可以分為兩個不同的反應(yīng)機(jī)構(gòu)

化學(xué)氣相沉積（Chemical vapor deposition, CVD）和物理氣相沉積（Physical vapor deposition，PVD）。

均相反應(yīng)與異相反應(yīng)

均相反應(yīng)

在單一固相、氣相、液相中進(jìn)行的化學(xué)反應(yīng)，即在反應(yīng)過程中與其他物相沒有物質(zhì)交換的反應(yīng)。

固體均相反應(yīng)是指在單一的固相中結(jié)構(gòu)組元發(fā)生的局域重排過程。

例如在鎳鋁尖晶石NiAl2O4中，鎳和鋁離子分別占據(jù)氧離子構(gòu)成的四面體和八面體格位。在溫度變化時，鎳和鋁離子在兩種格位上的分布可以發(fā)生變化。這種離子格位的重排反應(yīng)可以利用鎳離子的光譜變化測定。

在均相反應(yīng)中，不存在原子或離子的長程運動和組合物相的體積也不發(fā)生改變。材料的很多相變過程，特別是二級相變過程屬于均相反應(yīng)。

異相反應(yīng)

在兩相或者三相中進(jìn)行的化學(xué)反應(yīng)，即在反應(yīng)過程中與其他物相具有物質(zhì)交換的反應(yīng)。

例如：以酶免反應(yīng)為例，一個抗體包被在聚苯乙烯微孔板上（為固相），而被檢測的抗原在液體中（為液相），他們的反應(yīng)是處于兩個相中，稱為異相反應(yīng)。一般檢測大分子用此法。如肝炎標(biāo)志物，腫瘤標(biāo)志物和自身抗體等。而抗原和抗體都是在液相中，所形成的反應(yīng)體系為均相反應(yīng)，一般檢測小分子，如嗎啡，器官移植中抗排異藥物的檢測等可用此法。